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光刻膠概念16日盤中大幅拉升，截至發稿，晶瑞電材、怡達股份20%漲停，容大感光漲超10%，國風新材漲停，雙樂股份漲近9%，強力新材、南大光電漲超6%。

消息面上，近日，光谷企業在半導體專用光刻膠領域實現重大突破，武漢太紫微光電科技有限公司推出的T150A光刻膠產品，已通過半導體工藝量產驗證，實現配方全自主設計，有望開創國內半導體光刻制造新局面。該產品對標國際頭部企業主流KrF光刻膠系列。相較于被業內稱之為“妖膠”的國外同系列產品UV1610，T150A在光刻工藝中表現出的極限分辨率達到120nm，且工藝寬容度更大，穩定性更高，堅膜后烘留膜率優秀，其對后道刻蝕工藝表現更為友好，通過驗證發現T150A中密集圖形經過刻蝕，下層介質的側壁垂直度表現優異。

機構表示，隨著全球半導體制程向著更先進、更精細化方向發展，驅動了半導體制造對光刻膠的需求增長在KrF光刻膠方面，隨著3D NAND堆疊層數迅速增加，對光刻膠的使用量將大幅提升。預計至2024年底，我國將建立32座大型晶圓廠，且全部鎖定成熟制程，光刻膠總體需求量增速將快速復蘇。

校對：彭其華